用途:
LW400LMDT大平台工业显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析.
性能特点:
1. 采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术。
2. 拓展了物镜的复用技术,无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法,并在每一观察法中均提供高清晰的图像质量。
3. 采用非球面Kohler照明,增加观察亮度。
4. WF10X(Φ25)超大视野目镜,长工作距离明暗场金相物镜。
5. 可插DIC微分干涉装置的转换器。
主要技术参数:
1. 目镜筒:三目, 30?倾斜,360? 旋转(内置检偏振片,可进行切换)
2.目镜:大视野10X/22mm
3.无限远长工作距离平场消色差明/暗场物镜(无盖玻片)
5X/0.1B.D,工作距离:29.4mm,
10×/0.25B.D,工作距离:16mm,
20X/0.40B.D,工作距离:10.6mm,
40×/0.60B.D,工作距离:5.4mm
4.总放大倍数:50-400X
5.转换器:五孔(内向式滚珠内定位)
6.载物台: 双层机械移动式(尺寸: 350mm×310mm,移动范围: 250mm×250mm)
7.调焦机构:粗微动同轴调焦, 粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构 微动格值0.002mm带锁紧和限位装置
8.偏光装置:检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路
9. 照明系统:返射光,带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,AC85V-230V亮度可调节
10.滤色片:插板式滤色片(绿、蓝、中性)
选购件:
1.目镜:WF16X/11mm
2.物镜:无限远长工作距离平场明/暗场物镜:
50×/0.55B.D 工作距离5.1mm
80×/0.75B.D工作距离4mm
100×/0.80B.D工作距离3mm
3.图像适配镜
4.数码摄像头
5.图像测量软件